MFC-UT系列智能化、紧凑型

MFC-UT系列智能化、紧凑型

2021-09-23 | 资料下载


MFC-UT系列质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内高端流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,对比传统的气体流量控制器,本产品采用集成化设计,使得该产品的体积大幅度缩小到传统产品的1/4,可以在小体积、便携式设备中发挥更大优势。



产品应用于:半导体加工、分析仪器、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制、气体混合配比


产品特点:

温度和压力不敏感

设计劲凑,可安装任意位置

优越的零点稳定性

超快的响应速度

良好的重复性和再现性

采用液晶触控显示和控制

配备高端比例电磁阀





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